精密零件加工精度以納米，甚至以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。

  在此階段采用大的切削速度，小的進給量和切削深度，切除上道工序所留下的精加工余量，使零件表面達到圖樣的技術要求。選擇精密零件加工，不僅能有效改善材料品質、零件精度，發揮其機能，還能使零件的耐用程度大大提高，促使整個機械的品質得到改善。

  精密機械加工對提高零件的尺寸精度也有好處，所以直接的效果就是可以使得零件達成互換性，進而增加零件的耐磨性和使用壽命。對于精密零部件的加工主要是尺寸方面的要求，比如圓柱直徑是多少，有嚴格的要求，正負誤差在規定要求范圍之內才是合格零件，否則都是不合格零件。

  長寬高也有具體嚴格要求，正負誤差同樣有規定，比如一個內嵌式圓柱體，如果直徑太大，超過誤差允許范圍內，就會造成插不進去的情況，如果實際直徑太小，超過誤差允許負值下限了，就會造成插進去太松，不牢固的問題發生。精密機械加工，并不是什么材料都可以進行精密加工的，比如一些硬度太大的材料如果超過了加工機件的硬度，有些特殊材料是不適宜精密精密加工的